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주요사업

PSM

Particle Analysis

Particle
PSM
제조사
KoMiCo
모델명
PSM+
PSM (Particle Solution Machine)
반도체 장비의 Parts(Shower Head, ESC 등의 Hole Type 제품)의 Hole 내부의 Particle을 제거 및 검증 장비
Particle Size Range
0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0um
Method
Optical
Working Fluid
N2
Laser Type
Laser Diode
Sample Size
< 650mm
Particle Result
PSM