- 3D Map
- Laser 광원을 사용하며 Sample 표면을 입체적 관찰(3D 형상) 및 확대 관찰할 수 있는 장비
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STEP. 01
Laser irradiation
Sample 표면에 Laser를 조사하면 빛이 반사되어 장비로 투입
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STEP. 02
3D Image화
반사된 빛을 수집하고 분석하여 3D Image 생성
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STEP. 03
Data Interpretation
Sample 표면 Roughness, Pitting, Profile 등 확인
- Resolution
- ≤ 10 nm
- Magnification
- < x19,000
- Accuracy
- ≤ 2+L/100 μm (L=Measuring Length)
- Light source
- Laser
- Sample Size
- < 600mm
- X, Y Stage Measurement range
- < 600 mm
- Z Stage Measurement range
- < 300 mm
- R Stage Measurement range
- 0 ~ 90º
- S Stage Measurement range
- 0 ~ 360º
- 형상 분석
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- 표면 분석
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